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日本东京紧密E-TS-1070B 可靠性强，精密度演算随机误差方式英文简单介绍

１．在G1・G2接触子间放到微動台。

２．先电信G1接触子、保持部信号灯値为旅程量的一半时，（－210～－220μｍ）紧固触碰子。

３．然后呢电信G2接触子、调整部提示値为０μｍ时加固学习子。

４．微動台朝请收藏本站路径回退100μｍ(－100μｍ)、确定掌握部 标识値。

５．微動台至进给原地址（零地址）、证实保持部 指的是値为0μm〔注１〕。

６．微動台在进给方问进给100μm(＋100μm)、验收操纵部指令値。

 ７．微動台来到原部位（零部位）、认定把控好部告诉値为0μm〔注１〕。

８．0μm→－100μm的指示标志値与0μm→＋100μm的指的是値不小于1.5μm。

 ９．0μm→－100μm的显示灯値与0μm→＋100μm的信号灯値的差突破1.5μm后要再优化、再次[１．]～[８．]的课外作业。不超出时通过收起来的诊断。

〔注１〕 微動台在原选址（零选址）时、管理部标示値不被0μm时、需调控触碰子相同〔４．〕～〔６．〕的选择题。

　※ 为缩短演算精度需做绞合线竞聚率感度在线测量（別紙）。